高速可変型高圧電源の提案とその基礎実験について

カテゴリ: 部門大会

論文No: 443

グループ名: 【B】平成19年電気学会電力・エネルギー部門大会講演論文集

発行日: 2007/09/12

著者名: 服部正行(仙台電波工業高等専門学校),高橋克幸(岩手大学),日吉功(シシド静電気),和泉健吉(シシド静電気)

キーワード: 高電圧|双方向型回路|高速可変高速可変|High Voltage|Bilateral Circuit |High-speed variable

要約(日本語): 半導体産業の製造現場等で必需品とされるイオナイザー（帯電している対象物に正負のイオンを吹きつけ，静電引力および斥力を利用して除電する装置）の電源として，現在，主に直流高圧電源が用いられている。しかし，よりきめ細かな除電作業を行うには，小規模の電荷群を発生できる高圧パルス加電が望ましいことが知られているが，そのような電源は高価で入手が困難なため普及には至っていない。本研究は双方向型昇圧回路（ＦＥＴ，インダクタおよびキャパシタ等から構成）を多段に接続し，バッテリ駆動による高圧で高速可変型の電源を実現し，その性能を評価することを最終目的にしている。今回は，その予備実験について報告する。

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