高速可変型高圧電源の特性改善について

カテゴリ: 部門大会

論文No: 388

グループ名: 【B】平成20年電気学会電力・エネルギー部門大会講演論文集

発行日: 2008/09/24

タイトル(英語): Improvement of High-speed Variable High-voltage Power Supply

著者名: 服部 正行(仙台電波工業高等専門学校),若木 継裕(仙台電波工業高等専門学校),菅谷純一 (仙台電波工業高等専門学校),和泉 健吉(シシド静電気)

著者名(英語): Msasayuki Hattori(Sendai National College of Technology),Tsuguhiro Wakaki(Sendai National College of Technology),Junichi Sugaya(Sendai National College of Technology),kenkichi Izumi(Shishido Electrostatic Co.,Ltd.)

キーワード: 高電圧電源回路|高速可変型|イオナイザー用電源|多段型昇圧回路|PWM方式出力フィードバック制御|High-Voltage Power Supply|High-speed Variable Type|Power Supply for Ionizer|Multi-stage Step-up Circuit|PWM　Switching　MethodOutput　Feedback Control

要約(日本語): 半導体産業の製造現場等で必需品とされるイオナイザー（除電装置）の電源として，現在直流高電圧のものが多い。しかし，よりきめ細かな除電作業を行うには，小規模の電荷群を発生できる高圧パルス加電が望ましいことが知られているが，そのような電源は高価で入手が困難なため普及には至っていない。我々は，前報で双方向型昇圧回路を多段に接続する方式を提案し，その基礎実験結果を報告してきている。　今回の報告では，過渡特性の改善のため出力フィードバック方式を採用し，マイコン制御の双方向型降圧チョッパ回路利用の可変電源部と逐次多段昇

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