帯電したガラス基板試料移動時に発生する静電気放電とその放射電磁波の周波数特性に関する検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 434

グループ名: 【B】平成28年電気学会電力・エネルギー部門大会

発行日: 2016/09/05

タイトル(英語): Frequency properties of radiated electromagnetic waves by electrostatic discharges generated from the moving charged glass substrate specimen

著者名: 田上 剣汰(九州工業大学),濱崎 大夢(九州工業大学),大塚 信也(九州工業大学),川辺 健一(オーケー社鹿児島)

著者名(英語): Kenta Tagami|Nozomu Hamasaki|Shinya Ohtsuka|Kenichi Kawabe

キーワード: ガラス基板|静電気放電|気中放電|沿面放電|周波数電磁波,glass substrate,electrostatic discharge,air discharge,creeping discharge,frequencyelectromagnetic wave

要約(日本語): 液晶パネルの製造現場では、製造工程で絶縁物が接触帯電や剥離することにより静電気放電が発生することが報告されている。そのため、液晶パネルで発生する静電気放電による放射ノイズ特性の把握が必要となっている。本研究では、帯電した液晶パネル供試体を用いて、そのパネル移動時に発生する静電気放電(ESD)の基礎特性やその放射電磁波特性を異なる周波数帯域を有する複数のアンテナを用いて検討した。また、これらの現象を検証するため、課電したESD ガンを移動させた実験を行い、液晶パネル供試体での結果と比較検討を行った。

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