SnO2ガスセンサのCF4応答にガス圧力が及ぼす影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 331

グループ名: 【B】令和元年電気学会電力・エネルギー部門大会

発行日: 2019/08/23

タイトル：SnO₂ガスセンサのCF₄応答にガス圧力が及ぼす影響

タイトル(英語): Pressurization effect on SnO₂ gas sensor response against CF₄

著者名: 前之園 大地(九州大学),Nisarut Phansiri(九州大学),稲葉 優文(九州大学),中野 道彦(九州大学),里 秀文(九州電力),末廣 純也(九州大学)

著者名(英語): Maenosono Daichi|Phansiri Nisarut|Inaba Masafumi|Nakano Michihiko|Sato Hidefumi|Suehiro Junya

キーワード: ガスセンサ|設備診断|ガス絶縁開閉装置|SF₆分解ガス|誘電泳動SnO₂,gas sensor,transformer diagnosis,gas insulated switcgear,SF₆ resolved gas,dielectrophoresisSnO₂

要約(日本語): ガス絶縁開閉装置（GIS）の内部に充填されたSF₆は、部分放電や過熱等の異常により分解される。そこで、SF₆分解に由来するガス成分の一つであるCF₄を検出することでGISの設備診断が可能である。筆者らはこれまでに、誘電泳動集積法によりSnO₂、ZnO、カーボンナノチューブ等を材料とした半導体ガスセンサを作製し、CF₄の検出を行ってきたが、そのセンサ感度は目標感度に及ばなかった。本研究では、CF₄検出におけるセンサ応答値の向上を目的として、SF₆中のCF₄の圧力を400kPaまで高めた際のSnO₂ガスセンサの応答を調査した。その結果、ガス圧力400kPaでの応答値は室内気圧でのものと比較して大きく、圧力印加による応答値向上の可能性が示唆された。

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