高ゲージ率Cr-N薄膜及び設計改良によるMEMS触覚センサの感度向上

カテゴリ: 部門大会

論文No: 1-A-p1-7

グループ名: 【A】令和2年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2020/09/01

著者名: 金田 蓮(新潟大学), 安部 隆(新潟大学), 丹羽 英二(電磁材料研究所), 寒川 雅之(新潟大学)

PDFファイルサイズ: 819 Kバイト