RF電界・直流磁界下のCF4中電子ドリフト速度ベクトル軌跡(2)-電子ドリフト速度指向性に対する電子衝突散乱の影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 1-B-p1-1

グループ名: 【A】令和2年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2020/09/01

著者名: 菅原 広剛(北海道大学), 中田 裕也(北海道大学)

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