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RF低圧テトラメチルシランプラズマにおける基板への入射ラジカルおよびイオンの質量分析

RF低圧テトラメチルシランプラズマにおける基板への入射ラジカルおよびイオンの質量分析

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 1-P-B-8

グループ名: 【A】令和2年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2020/09/01

著者名: 鈴木 駿(千葉工業大学), 石井 晃一(千葉工業大学), 小田 昭紀(千葉工業大学), 太田 貴之(名城大学), 上坂 裕之(岐阜大学), 渡邉 泰章(イノベーションサイエンス)

PDFファイルサイズ: 823 Kバイト

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