1
/
の
1
RF低圧テトラメチルシランプラズマにおける基板への入射ラジカルおよびイオンの質量分析
RF低圧テトラメチルシランプラズマにおける基板への入射ラジカルおよびイオンの質量分析
通常価格
¥440 JPY
通常価格
セール価格
¥440 JPY
単価
/
あたり
税込
カテゴリ: 部門大会
論文No: 1-P-B-8
グループ名: 【A】令和2年電気学会基礎・材料・共通部門大会
発行日: 2020/09/01
著者名: 鈴木 駿(千葉工業大学), 石井 晃一(千葉工業大学), 小田 昭紀(千葉工業大学), 太田 貴之(名城大学), 上坂 裕之(岐阜大学), 渡邉 泰章(イノベーションサイエンス)
PDFファイルサイズ: 823 Kバイト
受取状況を読み込めませんでした
