真空アークで発生する微小粒子分布の調査

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-B-p1-1

グループ名: 【A】令和2年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2020/09/01

著者名: 地主 勇輝(埼玉大学), 山納 康(埼玉大学,筑波大学), 稲田 優貴(埼玉大学), 前山 光明(埼玉大学), 丹羽 芳充(東芝インフラシステムズ), 浅利 直紀(東芝インフラシステムズ), 大坊 昂(東芝インフラシステムズ)

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