リアクティブスパッタリング法とイオンビームミキシング法を組み合わせた新たな窒化膜作製技術の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-P-C-11

グループ名: 【A】令和2年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2020/09/01

著者名: 田井 有希(近畿大学), 松谷 貴臣(近畿大学)

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