準大気圧高繰り返しナノ秒パルス水素メタン混合プラズマを用いたDLC成膜実験

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-B-a1-4

グループ名: 【A】令和2年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2020/09/01

著者名: 井岡 克也(兵庫県立大学), 菊池 祐介(兵庫県立大学), 峯 卓馬(兵庫県立大学), 政井 瞭平(兵庫県立大学), 八束 充保(兵庫県立大学)

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