多結晶ダイヤモンド膜生成時における変調-無変調誘導熱プラズマの基板近傍での時系列分光観測~原料ガス流量依存性~

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-B-p1-1

グループ名: 【A】令和2年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2020/09/01

著者名: 畑 和史(金沢大学), 加納 直樹(金沢大学), 田中 康規(金沢大学), 中野 裕介(金沢大学), 石島 達夫(金沢大学)

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