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非平衡大気圧He/CH4パルスプラズマ特性に及ぼす印加電圧波形の影響の解析
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カテゴリ: 部門大会
論文No: 3-P-B-7
グループ名: 【A】令和2年電気学会基礎・材料・共通部門大会
発行日: 2020/09/01
著者名: 木村 勇太(千葉工業大学), 藤田 諒(千葉工業大学), 小嶋 正宏(千葉工業大学), 小田 昭紀(千葉工業大学), 太田 貴之(名城大学), 上坂 裕之(岐阜大学)
PDFファイルサイズ: 373 Kバイト
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