DLC 成膜用低圧 C2H2プラズマ特性に及ぼす圧力依存性の数値解析

カテゴリ: 部門大会

論文No: 1-B-p1-2

グループ名: 【A】令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2021/09/01

著者名: 佐々木 瞬（千葉工業大学）, 石井 晃一（千葉工業大学）, 小田 昭紀（千葉工業大学）

キーワード: シミュレーション|プラズマ支援CVD|高周波プラズマ|ダイヤモンドライクカーボン|アセチレン

要約(日本語): 近年, DLC(Diamond-Like Carbon)膜の成膜には, 低圧プラズマ支援CVD法が多く用いられている。 本手法は大面積かつ均一な成膜が可能であるが, 低圧力に起因する成膜速度や膜の軟質化が課題である。この課題に対し, 成膜用ガスにC2H2を用いた場合, 成膜速度および膜硬度が改善できることが報告されているが, この改善理由も含めてC2H2プラズマの特性には未解明な部分が多い。そこで本研究では, 低圧高周波C2H2プラズマの空間1次元流体モデルによるシミュレーションを行い, 成膜速度および膜硬度に影響を及ぼす実験外部パラメータとして報告されているガス圧力に着目し, プラズマ特性に及ぼす影響について解析を行ったので, その結果を報告する。

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