準大気圧高繰り返しナノ秒パルス水素・メタン混合プラズマを用いたDLC成膜実験(II)

カテゴリ: 部門大会

論文No: 1-B-p1-3

グループ名: 【A】令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2021/09/01

著者名: 峯 卓馬（兵庫県立大学）, 政井 瞭平（兵庫県立大学）, 菊池 祐介（兵庫県立大学）

キーワード: DLC|準大気圧|パルスグロー放電

要約(日本語): ダイヤモンドライクカーボン(DLC)は高硬度・絶縁性などの特性を有し,様々な分野で産業応用が進められている。しかし,従来の低ガス圧プラズマCVD法を用いた成膜では成膜レートが低いことが課題である。我々はこれまでに,ガス圧1.2 kPaの高繰り返し水素・メタン混合プラズマを用いて,従来の20倍の成膜レート(0.26μm/min)でDLC成膜を実現している。また,水素・メタン混合プラズマでは基板温度がDLCの膜質に大きな影響を与えることを明らかにした。本研究ではプラズマ生成用の高繰り返しナノ秒パルス電源をバースト運転させ,繰り返し周波数だけでなくプラズマ休止時間が膜質に与える影響を調査した。

PDFファイルサイズ: 349 Kバイト