共鳴磁界域を拡張した対向発散磁界下誘導結合プラズマ中の電子エネルギー利得分布観察

カテゴリ: 部門大会

論文No: 1-B-p1-4

グループ名: 【A】令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2021/09/01

著者名: 岡崎 凌大（北海道大学）, 菅原 広剛（北海道大学）

キーワード: 誘導結合磁化プラズマ|共鳴磁界域|部分共鳴|電子エネルギー利得|モンテカルロシミュレーション|磁界設計

要約(日本語): 対向発散磁界下で駆動する誘導結合磁化プラズマ中では磁界が共鳴磁界強度の1～2倍となる共鳴磁界域付近で部分共鳴が起き電子がエネルギーを得易くなる傾向が知られる。本研究はプラズマ維持に寄与するであろう部分共鳴現象の解析を目的とする。共鳴磁界域が円筒プラズマ容器上下底面に達するよう拡張した磁界を今回新たに設計し,励起源RFアンテナが容器天井にある従来系の他にアンテナを側壁に移した系も想定した。励磁電流を増減し共鳴磁界域の位置と広さを変えつつ,電子が誘導電界からエネルギーを受け取る領域をモンテカルロシミュレーションにより観察した。アンテナ位置や磁界強度が変わっても共鳴磁界域における電子エネルギー利得の促進傾向が見られた。

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