交流電界直流磁界下共鳴磁界域における電子滞在時間と電子エネルギー利得の関係

カテゴリ: 部門大会

論文No: 1-B-p1-6

グループ名: 【A】令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2021/09/01

著者名: 野原 直人（北海道大学）, 菅原 広剛（北海道大学）

キーワード: 粒子シミュレーション|対向発散磁界|電子サイクロトロン共鳴|部分共鳴|ラジオ周波数|共鳴磁界域

要約(日本語): X点プラズマは誘導結合プラズマの一種で、円筒容器上下の同軸コイルに逆向きの直流電流を通じ対向発散磁界を印加する。中心には零磁界X点が生じ、X点を含む分界面はプラズマ閉じ込めの働きがある。これを用いたプラズマ変調は材料プロセスへの応用が期待される。先行研究では印加磁界が共鳴磁界強度の1～2倍となる共鳴磁界域で電子エネルギーが増加し易い傾向が観察され、一時的な電子サイクロトロン共鳴現象である部分共鳴の効果と推測されている。本報では部分共鳴発生に適した条件を探るため、粒子モデルによる電子挙動シミュレーションにより共鳴磁界域における電子運動を模擬し電子滞在時間と電子エネルギー利得の関係を調査した結果について述べる。

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