エポキシ系導電性カーボンナノコンポジットの陽子線描画によるパターニング

カテゴリ: 部門大会

論文No: 1-P-C-3

グループ名: 【A】令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2021/09/01

著者名: 野原 悠暉（芝浦工業大学）, 林 秀臣（エコデザイン推進機構）, 西川 宏之（芝浦工業大学）（エコデザイン推進機構）

キーワード: 陽子線描画|微細加工|ナノコンポジット|導電性カーボン

要約(日本語): 近年IoT化に伴い、高機能かつ安価なセンサの開発のための微細化技術が求められている。本研究は、微細な高アスペクト比構造形成に優れた陽子線描画を用い、各種センサの高機能化を目指した導電性カーボンナノコンポジット材料による微細加工を目的とする。以前の報告においてはエポキシ系レジストであるSU-8に、ケッチェンブラックを添加したコンポジット膜に陽子線描画を行い、2μmスケールのラインアンドスペースの形成に成功した。一方で成膜時の膜厚が不均一であるという課題が生じたことを確認した。本報告では成膜処理や条件を見直すことで均一な膜厚を達成し、パターニング後のコンポジット膜の導電性特性を調査することを目的とする。

PDFファイルサイズ: 373 Kバイト