集束陽子線描画を用いた印刷用スタンプの作製とa-IGZO薄膜の転写特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 1-P-D-5

グループ名: 【A】令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2021/09/01

著者名: 川村 恵矢（芝浦工業大学）, 林 秀臣（エコデザイン推進機構）, 関 宏範（芝浦工業大学）, 西川 宏之（芝浦工業大学）

キーワード: 印刷法|集束陽子線描画|IGZO

要約(日本語): IoT社会にむけて低消費電力・低コストのセンサデバイスの作製法が求められている。a-IGZOは高電子移動度、低リーク電流といった特性があり、a-IGZO-TFTは低消費電力かつ高機能なセンサデバイスとして有望である。a-IGZO-TFTの簡便かつ低コストな製造方法として印刷法が提案されている。本研究では、a-IGZO TFTの印刷法による製造において重要なスタンプ作製工程に陽子線描画(PBW)による作製を提案する。高アスペクト比構造の形成に優位なPBWによるPMMA母型の作製工程とPDMS転写によるスタンプ作製について検討する。課題となるのは、PBWによる母型の作製精度と母型からPDMSスタンプの作製、さらにIGZO膜の転写性である。本研究では、母型作製における精度に焦点を当て、研究を行う。

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