真空アークにおける圧力勾配により生じる熱的非平衡を考慮した 重粒子温度と電子温度の算出

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-B-a1-3

グループ名: 【A】令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2021/09/01

著者名: 高木 真宏（東京都市大学）, 根本 雄介（東京都市大学）, 鈴木 裕斗（東京都市大学）, 任 振威（東京都市大学）, 鈴木 祐揮（東京都市大学）, 岩尾 徹（東京都市大学）

キーワード: 真空アーク|陰極点|電子温度|シース|重粒子温度

要約(日本語): 真空アークは,陰極点近傍と外周部の間で急峻な圧力勾配が生じ,イオン雲と陰極との間で高電界が発生することで陰極点の移動を生じていると考えられる。陰極点近傍と外周部におけるイオン雲を解析するためには,圧力差により生じる熱的非平衡を考慮した解析が必要である。本論文では,真空アークにおける圧力勾配が及ぼす熱的非平衡を考慮した重粒子温度と電子温度を算出した。結果として,陰極近傍では衝突による電子から重粒子へのエネルギーの輸送が生じ,重粒子温度が外周部よりも高くなった。重粒子と電子のエネルギー保存式を用いることで,真空アークにおける圧力勾配により生じる熱的非平衡を考慮した解析が可能となった。

PDFファイルサイズ: 472 Kバイト