ダイヤモンド成長用誘導熱プラズマへの 投入原料 CH4/H2 ガス解離過程の反応速度論的数値解析

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-B-a1-4

グループ名: 【A】令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2021/09/01

著者名: 加納 直樹（金沢大学）, 東 泰造（金沢大学）, 田中 康規（金沢大学）, 中野 裕介（金沢大学）, 石島 達夫（金沢大学）

キーワード: 誘導熱プラズマ|ダイヤモンド|化学反応速度|電磁熱流体解析|化学気相蒸着法|化学組成場

要約(日本語): 本論文では,ダイヤモンド成長用Ar誘導熱プラズマに原料ガスCH4/H2を導入した場合の解離過程を,化学反応速度を考慮して生成化学種の輸送を計算した。熱プラズマを用いたダイヤモンド成長では,基板に照射される各種粒子束が成長レートに大きな影響を及ぼす。そのため,最適な成長条件の探索に向け基板付近における化学種分布を精度良く解析する必要がある。計算の結果,局所熱平衡状態を仮定した熱プラズマ解析結果と比較して,基板付近における化学種の密度勾配が非常に小さく,上流からの対流輸送効果が大きいことが判明した。

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