ループ型 Ar/O2誘導熱プラズマに対する熱的・反応論的非平衡モデルの電磁熱流体解析

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-B-a1-6

グループ名: 【A】令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2021/09/01

著者名: 杉山 祐樹（金沢大学）, 原 弘也（金沢大学）, 田中 康規（金沢大学）, 中野 裕介（金沢大学）, 石島 達夫（金沢大学）, 幸本 徹哉（シー・ヴィー・リサーチ）, 川浦 廣（シー・ヴィー・リサーチ）

キーワード: ループ型Ar/O₂誘導熱プラズ|電磁熱流体解析|反応論的非平衡|熱力学・輸送特性|重粒子温度|質量分率

要約(日本語): 本報告では,ループ型Ar/O2誘導熱プラズマ(Loop-ICTP)の電磁熱流体解析の結果を報告する。Loop-ICTP 装置は,誘導熱プラズマによる基板の大面積処理に向けて,筆者らが独自開発したものである。本解析モデルでは,酸素分子の重粒子衝突および電子衝突による反応論的非平衡反応に加え,アルゴンおよび酸素の熱力学・輸送特性を各位置での組成から計算している。本モデルにより,重粒子温度,電子温度および各粒子の質量分率の分布を検討した。

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