二光子励起レーザー誘起蛍光法を用いた準大気圧酸素放電における酸素原子の挙動観測

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-B-a2-1

グループ名: 【A】令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2021/09/01

著者名: 中川 雄介（東京都立大学）, 岩田 優太（東京都立大学）, 杤久保 文嘉（東京都立大学）

キーワード: 準大気圧プラズマ|O原子|レーザー分光

要約(日本語): 大気圧プラズマを用いた酸化処理においてO原子は重要であるが、寿命が短いため処理範囲が限られるという欠点がある。我々は大気圧プラズマの多様な処理対象を維持しながらラジカルの長寿命化を達成する方法として、大気圧近傍でわずかに減圧した準大気圧のプラズマに着目した。本発表では、準大気圧酸素放電におけるO原子の挙動を二光子励起レーザー誘起蛍光法で測定した結果について報告する。実験の結果、20-90 kPaの酸素放電において最大O原子密度は大気圧放電とほぼ同等である一方、O原子の寿命は減圧により大きく延長され、20 kPaにおけるO原子の寿命は大気圧の10倍以上となった。

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