準大気圧ヘリウムアーク放電照射による繊維状ナノ構造形成における入射イオンエネルギーの効果

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-B-a2-2

グループ名: 【A】令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2021/09/01

著者名: 菊池 祐介（兵庫県立大学）, 青田 達也（ユメックス）, 前中 志郎（ユメックス）, 藤田 和宣（ユメックス）, 髙村 秀一（ユメックス）

キーワード: 繊維状ナノ構造|アーク放電|ヘリウムバブル

要約(日本語): ヘリウム(He)プラズマ照射で得られるタングステン(W)表面の繊維状ナノ構造は完全黒体に近い放射特性を有する等,様々な産業応用のポテンシャルを有している。我々は準大気圧直流Heアーク放電照射装置を開発し,照射時間15分でW表面の黒色化に成功した。実験では,試料と容器壁間に負のバイアス電圧を印加して入射イオンエネルギーEiを制御したが,シース中のイオン-中性粒子間衝突を無視できる低ガス圧下と異なり,準大気圧下のEiはシース電圧で決まる単色分布ではない。そこで炭素試料に準大気圧Heアーク放電を照射し,スパッタリング損耗からEiを評価した。講演では表面構造変化へのEiの効果について発表する。

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