高繰り返しナノ秒パルス窒素グロー放電の時間分解分光計測

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-B-a2-3

グループ名: 【A】令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2021/09/01

著者名: 政井 瞭平（兵庫県立大学）, 峯 卓馬（兵庫県立大学）, 菊池 祐介（兵庫県立大学）

キーワード: ナノパルス放電|グロー放電|窒素プラズマ|時間分解分光計測

要約(日本語): 我々は高繰り返しナノ秒パルス窒素グロー放電の特性評価と窒化処理への適用に関する研究を行ってきた。これまで時間積分分光計測を行ってきたが,パルス電圧のオン時とオフ(アフターグロー)時の発光スペクトルを分離して調査することができなかった。本研究では高速ゲート動作が可能なICCD分光器を導入し,ガス圧力0.5 kPa,電力1kW,最高周波数600 kHzの高繰り返しナノ秒パルスグロー放電の分光計測を行った。その結果,アフターグローにおいて窒素分子イオン発光が観測され,電子衝突以外のメカニズムで電離が発生していることが分かった。講演では振動温度,ガス温度の時間変化も合わせて報告する。

PDFファイルサイズ: 352 Kバイト