He/O2狭ギャップ短パルス大気圧非平衡プラズマの発光分光法による診断

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-B-p2-3

グループ名: 【A】令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2021/09/01

著者名: 中野 俊樹（防衛大学校）, 北嶋 武（防衛大学校）

キーワード: 発光分光法|大気圧プラズマ|狭ギャップ電極|短パルス電圧|酸素解離度

要約(日本語): He/O2狭ギャップ短パルス大気圧非平衡プラズマの発光スペクトルおよび放電電流を測定し、O2混合率がプラズマの電子温度、酸素原子密度およびO2解離度に及ぼす影響を診断した。HeおよびOの発光スペクトル強度比の分析から、O2混合率5%より混合率が高い条件では、酸素原子密度は上昇し、電子温度およびO2解離度は低下する。一方、O2混合率5%以下の条件では、酸素原子密度はO2混合率によらずおおよそ一定であり、電子温度およびO2解離度は上昇する傾向があることがわかった。

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