放物面ミラーを用いた立体リソグラフィ投影露光光学系の検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-C-p2-2

グループ名: 【A】令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2021/09/01

著者名: 堀内 敏行（東京電機大学）, 小林 宏史（東京電機大学）

キーワード: 立体リソグラフィ|放物面ミラー|投影露光

要約(日本語): 科学教材や展示用に放物面ミラーを上下に対向させた立体結像光学系が使用されている。下ミラーの底部に小物体を置き、上ミラーの中央に開口を設けて上方から照明光を入れると、上ミラーの開口内に物体の鮮明な実像ができ、あたかも実際に小物体があるかのように見える。今回、下ミラーの中央にも開口を設け、明暗パターンを有する任意の緩曲面原図物体を置いて下から照明することにより、パターン像を上開口に作り、そこに置いた同形状のレジスト付物体を露光して表面にパターンを転写する立体リソグラフィを考案し、可能性を検討した。本報告では、パターン像形成の実証結果と像の特徴や露光装置製作に向けての検討結果について述べる。

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