パルス静電応力法を用いた空間電荷計測におけるロックイン較正法の基礎検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-D-p2-5

グループ名: 【A】令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2021/09/01

著者名: 歌川 真生, 李 暁欣, Shafira Zahra, 矢田 啓悟, 川島 朋裕, 村上 義信, 穂積 直裕（豊橋技術科学大学）

キーワード: パルス静電応力法|ロックイン較正法|空間電荷|参照信号

要約(日本語): パルス静電応力法等の位置分解能を有する空間電荷計測では,計測系がもつ伝達関数を補正する参照信号が必要である。空間電荷が生じにくい材料を用いるか,空間電荷が生じない程度に低い電圧下で計測した信号を利用する。筆者らは,擾乱を繰り返し与え,各差分を加算平均した信号を参照信号とするロックイン較正法を提案した。同一試料であっても,印加電圧に擾乱を与えた場合の差分を利用することで,電極の誘導電荷のみを抽出でき,これを用いて較正可能である。印加電圧の条件を変更しながら取得した参照信号を用いて逆畳み込み処理を行い,電界分布の妥当性を検証した。これにより,本較正法における印加電圧の適用範囲を検討した。

PDFファイルサイズ: 308 Kバイト