アーク放電を利用し作製したNd-Fe-B系磁石膜の磁気特性とNd含有量の関係

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-C-p1-3

グループ名: 【A】令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2021/09/01

著者名: 日笠山 航也（長崎大学）, 山下 昂洋（長崎大学）, 柳井 武志（長崎大学）, 中野 正基（長崎大学）, 福永 博俊（長崎大学）

キーワード: 厚膜磁石|真空アーク蒸着法|Nd-Fe-B系磁石|MEMS

要約(日本語): これまで我々の研究グループでは真空アーク蒸着法を用い5 mm角程度の等方性Nd-Fe-B厚膜磁石の作製を検討してきたものの,ヒステリシスループの2段化に伴う動作点での磁気分極の低下が見られた。この原因として成膜基板の先鋭な端部においてアーク放電が影響を及ぼすことが確認されたため,成膜面積を拡大した後,端部を除去することにより試料中心部で二段化の抑制ならびに磁気特性の向上を実現した。また,化学量論組成よりもNd-richなターゲットを用いて同様の検討を行った際,Nd-poorで作製した試料と比べ,二段化がより顕著に確認された。本研究では二段化の抑制に対し,成膜プロセスの観点から検討を行ったので報告する。

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