MEMS-PZT薄膜センサを用いた高温用空間電荷分布測定装置の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-D-a1-1

グループ名: 【A】令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2021/09/01

著者名: 小林 美穂（東京都市大学）, 佐藤 孔亮（東京都市大学）, 三宅 弘晃（東京都市大学）, 田中 康寛（東京都市大学）, 神田 健介（兵庫県立大学）

キーワード: PZT|空間電荷測定法|MEMS|圧電素子|薄膜

要約(日本語): 現在、先行研究において開発した150 ℃空間電荷分布測定装置では耐熱性を有するP(VDF-TrFE)を用いてきたが、センサ周囲の冷却が必要であった。そこで、キュリー温度が300 ℃であるPZTに着目し、高温分極処理を施したMEMS-PZT薄膜をセンサとして空間電荷測定装置に設置し、150 ℃におけるPENの空間電荷分布の測定を行った。その結果、高温環境下で従来と同等の測定結果が得られ、冷却不要な高温空間電荷測定装置の有用性が確認されたので報告する。

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