高繰り返しナノ秒パルスグロー放電プラズマを用いたDLC成膜へのヘリウムガス混合の影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 13-D-p1-2

グループ名: 【A】令和4年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2022/08/30

著者名: 川口 瑞稀(兵庫県立大学), 玉越 順也(兵庫県立大学), 菊池 祐介(兵庫県立大学)

キーワード: ダイヤモンドライクカーボン成膜|高繰り返しナノ秒パルス放電|準大気圧プラズマ|グロー放電

要約(日本語): ダイヤモンドライクカーボン(DLC)の低コスト成膜を目指して,ガス圧力1.2 kPa下の高繰り返しナノ秒パルスグロー放電プラズマを用いたDLC成膜実験を行った。ガス種はHe/H2/CH4とした。基板温度をパラメータとして, Heの流量を変化させて膜質を調査した。その結果,He流量が0.02L/min以外は, どのガス流量でも基板が温度上昇しても水素含有量と硬度は大きな変化がなく, 膜硬度は最大で15 GPaの硬度が得られた。一方で流量が0.02L/minの際は水素含有量が他のガス流量に比べて増加し, 硬度の値はやや小さくなった。

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