対向発散磁界下誘導結合プラズマ中の電子エネルギー利得への電磁界強度分布の影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 13-D-p1-3

グループ名: 【A】令和4年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2022/08/30

著者名: 岡崎 凌大(北海道大学), 菅原 広剛(北海道大学)

キーワード: 誘導結合磁化プラズマ|共鳴域|電子エネルギー利得|部分共鳴|モンテカルロシミュレーション|磁界設計

要約(日本語): プラズマ閉じ込めや材料損傷低減など機能性が期待される対向発散磁界を印加した誘導結合プラズマ中では,共鳴域(磁界強度が共鳴磁界±50%の領域と設定)で電子が加速され易い部分共鳴が観察される。本研究は部分共鳴を解明し装置設計指針に繋がる知見獲得を目的とする。電界分布,磁界強度・共鳴域範囲をRFアンテナ位置と励磁電流により変化させ共鳴域での電子エネルギー利得をモンテカルロ法により観察した。アンテナが共鳴域に近いほど利得は大きく,磁界強度が増しても共鳴域で顕著な傾向は不変だった。また部分共鳴を促進するアンテナ位置の模索,電離周波数や電力による電子へのエネルギー供給の評価などの試みについて報告する。

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