準大気圧酸素パルスバリア放電におけるO原子分布の放電パルス幅による変化

カテゴリ: 部門大会

論文No: 13-D-p2-1

グループ名: 【A】令和4年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2022/08/30

著者名: 中川 雄介(東京都立大学), 大柿 慈温(東京都立大学), 杤久保 文嘉(東京都立大学)

キーワード: 準大気圧プラズマ|酸素原子|レーザー誘起蛍光法

要約(日本語): 大気圧プラズマは化学反応性の高いラジカルを容易に生成できるが、ラジカルの寿命が短いという課題がある。これに対し、準大気圧プラズマはラジカルの密度を大気圧と同程度に維持したまま寿命を延長できる可能性がある。一方、準大気圧プラズマの化学反応を司るラジカルの挙動は明らかになっていない。本研究では準大気圧下の針対球バリア放電において、酸化ラジカルであるO原子の空間分布をTALIFにより測定した。その結果、準大気圧下のO原子の寿命は大気圧より長く、O原子生成量も特定の圧力範囲で大気圧より増加することが分かった。また、放電パルス幅に応じて接地近傍のO原子密度が大きく変化することが判明した。

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