高速表面改質の一様性向上に向けた吹付レーストラック型誘導熱プラズマ装置の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 13-D-p2-3

グループ名: 【A】令和4年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2022/08/30

著者名: 原 弘也(金沢大学), 不破 知哉(金沢大学), 田中 康規(金沢大学), 石島 達夫(金沢大学), 中野 裕介(金沢大学), 幸本 徹哉(シー・ヴィ・リサーチ), 川浦 廣(シー・ヴィ・リサーチ)

キーワード: 吹付レーストラック型|Ar/N2誘導熱プラズマ|高速表面改質

要約(日本語): 筆者らは誘導熱プラズマによる大面積にわたる高速表面改質を目指し,ループ型およびレーストラック型誘導熱プラズマ装置を開発している。これらの装置による表面改質試験結果から,反応性プラズマをガス流などにより対象基板へ押し付けることが表面処理速度および生成膜の一様性の向上に有効と分かっている。本検討では,このプラズマの押し付け効果の改善を図り,新たなトーチ形状である吹付レーストラック型誘導熱プラズマ装置を開発した。加えて,この装置による窒化処理を検討するためにAr/N2誘導熱プラズマの安定維持範囲を把握し,基板上の線上プラズマの性状を分光学的に調べた。

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