真空アーク陰極点おける空間電荷シースを考慮した陰極シース電圧の空間分布の数値解析

カテゴリ: 部門大会

論文No: 13-D-p3-1

グループ名: 【A】令和4年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2022/08/30

著者名: 高木 真宏(東京都市大学), 鈴木 裕斗(東京都市大学), 森下 穂香(東京都市大学), 鈴木 祐揮(東京都市大学), 根本 雄介(東京都市大学), 任 振威(東京都市大学), 岩尾 徹(東京都市大学)

キーワード: 真空アーク|陰極点|電子温度|陰極シース電圧|3次元電磁熱流体シミュレーション

要約(日本語): 真空アーク陰極点において,陰極シース電圧は電子放出や陰極への入熱量を決定する重要な物理量である。これまでに陰極シースの解析が試みられてきたが,陰極シース単独での解析に留まっているものが多い。一方,電磁熱流体シミュレーションでは,陰極シースは未考慮あるいは一定の電圧としたものが多く,陰極シース電圧の空間分布は明らかとなっていない。本論文では,電磁熱流体モデルと空間電荷シースモデルを連成した解析が可能な数値解析モデルを構築し,陰極シース電圧の空間分布の解析を行った。結果として,シース端の電子温度が高い領域において陰極シース電圧が増加する空間的な分布が得られた。

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