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3次元電磁熱流体シミュレーションを用いたアークランプにおける回転磁界が及ぼす放射分布の解析
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カテゴリ: 部門大会
論文No: 13-D-p3-3
グループ名: 【A】令和4年電気学会基礎・材料・共通部門大会
発行日: 2022/08/30
著者名: 南澤 知正(東京都市大学), 工藤 大征(東京都市大学), 鈴木 裕斗(東京都市大学), 鈴木 祐揮(東京都市大学), 任 振威(東京都市大学), 根本 雄介(東京都市大学), 岩尾 徹(東京都市大学)
キーワード: アークランプ|放射パワー|回転磁界|3次元電磁熱流体シミュレーション
要約(日本語): アークランプは,高輝度かつ高演色性の光を発生させるランプである。この特徴を生かして産業用光源として半導体の結晶性回復を目的として用いられ,熱処理をする層の拡散制御をすることが求められている。このためアークランプにおいては,短い時間での時間変化に伴う放射量の変化や波長ごとの放射量の算出と実際の制御が必要である。しかし高速に放射量を制御したとしても,表面の熱処理に関する計測をすることが困難であり,これらの結果を設計に活かすことは難しい。本研究では3次元電磁熱流体シミュレーションを用いたアークランプにおける回転磁界が及ぼす放射分布の解析を行った。その結果,回転磁界増加により可視光領域の放射パワーの増加が確認された。
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