雰囲気圧力変化時の真空アーク陰極点の温度計測

カテゴリ: 部門大会

論文No: 13-D-p3-5

グループ名: 【A】令和4年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2022/08/30

著者名: 石原 のぞみ(東京都市大学), 鈴木 裕斗(東京都市大学), 西郷 謙伸(東京都市大学), 一瀬 謹(東京都市大学), 高木 真宏(東京都市大学), 森下 穂香(東京都市大学), 鈴木 祐揮(東京都市大学), 根本 雄介(東京都市大学), 任 振威(東京都市大学), 岩尾 徹(東京都市大学)

キーワード: 真空アーク|陰極点|横磁界|分光計測|アーク温度|逆行運動

要約(日本語): 真空アーク陰極点の移動要因解明に向けて,局所熱平衡状態(LTE)を仮定した解析や実験が行われてきた。しかし,高真空では電子と重粒子の非平衡性が顕著であるため,陰極点の移動要因の解明には至っていない。本研究では,陰極点近傍の詳細な現象を明らかにするために,圧力変化時の陰極点近傍を分光計測することにより,アーク温度の算出を行う。この上で,これらの妥当性の検証のために,ボルツマンプロット法の線形性で平衡,非平衡性を明らかにする。具体的には,銅陰極での,陰極点から発生する銅原子に着目し,分光器とハイスピードビデオカメラを用いた,多点分光計測を行い,ボルツマンプロット法を用いて,陰極点近傍の温度算出を行う。

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