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ITO透明導電性基板からの金属除去における水中および大気パルス放電の比較
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カテゴリ: 部門大会
論文No: 13-P-B-1
グループ名: 【A】令和4年電気学会基礎・材料・共通部門大会
発行日: 2022/08/30
著者名: 菊池 凱登(香川高専), 三野 太洋(香川高専), 土居 拓永(香川高専), 正箱 信一郎(香川高専), 山下 智彦(香川高専)
キーワード: 水中パルス放電|大気パルス放電|金属除去|ITO透明導電性基板|リサイクル
要約(日本語): 本研究の目的は、パルスパワーをリサイクルに適用し、新しい方法を開発することである。この方法は環境への影響が少ない。本研究では、リサイクル用のサンプルとしてITO(インジウムスズ酸化物)透明導電性基板を採用した。比較実験のために、水中および大気パルス放電を使用してITO透明導電性基板から金属を分離した。金属除去面積を測定し、2つの放電ケース間で比較した。その結果、水中パルス放電による金属除去は、空気中での放電よりも効果的であった。この結果は、水中ストリーマの影響を示唆している。
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