循環型プラズマ処理のためのマルチ電極プラズマアクチュエータの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 13-P-B-4

グループ名: 【A】令和4年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2022/08/30

著者名: 山内 素明(東京工業大学), 徐 茂(東京工業大学), 大澤 泰樹(東京工業大学), 山崎 顕一(東京工業大学), 沖野 晃俊(東京工業大学)

キーワード: plasma actuator|atmospheric plasma|radicals

要約(日本語): 高濃度の活性種を含む気体を非接触で気流制御する事を目的として,多段化したプラズマアクチュエータを開発した。本研究のプラズマアクチュエータは誘電体上に配置された電極近縁のバリア放電によって気流を生成する。今回開発した装置では流速の増加を目的として電極を7段直列に配置し,誘電体の厚さ,電極配置,電極形状等と流速の関係を調べた。その結果,鋭角三角形を1 mmの間隔を空けて配置した鋸刃型電極では,印加電圧12 kV,11 kHzにおいて0.42 m/sの流速が得られ,一般的な直線型電極に比べて約2倍の流速となった。さらに,350ppmのオゾンを含む空気中でも正常に動作し,同じ流速が得られる事を確認した。

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