レーザ成膜を用いたFe-Pt系磁石薄帯の作製と積層化

カテゴリ: 部門大会

論文No: 14-C-p1-2

グループ名: 【A】令和4年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2022/08/30

著者名: 宮原 悠(長崎大学), 山下 昂洋(長崎大学), 柳井 武志(長崎大学), 中野 正基(長崎大学), 福永 博俊(長崎大学)

キーワード: Fe-Pt系磁石|PLD法|薄帯|剥離現象|規則ー不規則変態

要約(日本語): すでに我々は,熱酸化膜付きSi基板上にPLD(Pulsed Laser Deposition)法を用い成膜したFe-Pt系磁石膜が剥離しやすい現象を利用して,Fe-Pt系磁石薄帯の作製法を実現してきた。本研究では,希土類系磁石膜をFe-Pt系磁石膜で挟み込む方法,具体的にはFe-Pt/Pr-Fe-B/Fe-Pt系積層磁石薄帯の作製を検討し,Pt使用量を低減しつつ,耐食性・生体安全性の優れた磁石薄帯の開発を検討した

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