2-14-1系希土類磁石膜の熱処理時の結晶化過程と希土類元素の関係

カテゴリ: 部門大会

論文No: 14-C-p1-3

グループ名: 【A】令和4年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2022/08/30

著者名: 福田 樹(長崎大学), 樋口 晃太(長崎大学), 山下 昂洋(長崎大学), 柳井 武志(長崎大学), 中野 正基(長崎大学), 福永 博俊(長崎大学)

キーワード: Nd-Fe-B系磁石|Pr-Fe-B系磁石|PLD法|結晶化過程|パルスアニーリング

要約(日本語): MEMSデバイスへの応用が期待される2-14-1系磁石膜は,現状、硬磁気特性を得るために基板加熱やポストアニーリングによる熱処理工程が必要であるものの,将来的な有機材料基板などの利用も鑑みると,室温もしくは200 ℃以下の低温での作製が望まれる。本研究では,代表的な2-14-1系であるNd-Fe-B系ならびに Pr-Fe-B系の「結晶化初期過程における磁気特性と結晶構造の比較・検討」を通じ,低温プロセスによる2-14-1系磁石薄膜の作製にかんする基礎的な知見の獲得を検討した。

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