パルスレーザーと磁性ガーネットを用いた高周波近傍磁界の測定システム

カテゴリ: 部門大会

論文No: 15-A-p1-5

グループ名: 【A】令和4年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2022/08/30

著者名: 枦 修一郎(東北学院大学), 齊藤 悠一(Lancaster University), 石山 和志(東北大学)

キーワード: パルスレーザー|磁性ガーネット|高周波近傍磁界

要約(日本語): 我々は,パルスレーザーと磁性ガーネットの磁気光学効果を利用した高周波近傍磁界の計測法について検討を行っている。今回、より細い伝送線路の発する近傍磁界を計測するにあたり、ウェーハププローバの導入とそれに合わせた光学系の構築を行い、フォトリソグラフィで作製した線幅95μmの伝送線路の近傍磁界の測定を行った。測定の結果、用いたパルスレーザーのパルス半値幅(約60pSec.)を考慮した測定上限周波数6GHzまでの高周波近傍磁界の位相変化の様子が可視化できることを確認した。

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