大気パルス放電を用いたITO透明導電性基板からの金属除去の進展

カテゴリ: 部門大会

論文No: 15-P-A-1

グループ名: 【A】令和4年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2022/08/30

著者名: 三野 太洋(香川高専), 菊池 凱登(香川高専), 土居 拓永(香川高専), 正箱 信一郎(香川高専), 山下 智彦(香川高専)

キーワード: 金属除去|ITO透明導電性基板|大気パルス放電|リサイクル

要約(日本語): 本研究では、パルスパワーを利用した新しいリサイクル方法を開発することを目指している。この研究では、リサイクルするサンプルとしてITO(インジウムスズ酸化物)の透明導電性基板を使用し、大気パルス放電を利用して金属を分離することを試みた。実験では、パルス放電と金属除去の進行を観察した。その結果、パルスパワーショットの回数に応じて金属除去が進行することが明らかとなった。この結果は、環境への影響が少ない透明導電性基板の新しいリサイクル方法を実現する可能性を示唆している。

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