シリコンフォトニック結晶による空間電荷検知メカニズムの研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 15-P-D-2

グループ名: 【A】令和4年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2022/08/30

著者名: 東口 岳樹(大阪公立大学), 菊永 和也(産業技術総合研究所), 江頭 正洪(産業技術総合研究所), 太田 雄士(大阪公立大学), 高橋 和(大阪公立大学)

キーワード: フォトニック結晶|帯電検知

要約(日本語): 我々はごく最近,高Q値ナノ共振器を用いたシリコンラマンレーザがイオン空間電荷にさらされると,空間電荷からフォトニック結晶に流入した余剰キャリアによる自由キャリア吸収損失が大きくなり,レーザ発振が停止することを発見した.空間電荷は,化学工場における爆発や宇宙機の故障原因となっており,その検知は重要性が高い.そこで我々は,高Q値ナノ共振器を用いた空間電荷センサ開発を目指している.今回,空間電荷がフォトニック結晶にどのくらい侵入するか定量的に推定するとともに,フォトニック結晶サンプルの表面処理の違いによる電荷の抜け方を検証するためにコロナ放電を用いて帯電させたフォトニック結晶ナノ共振器の電荷減衰を測定する実験を行ったので報告する.

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