単結晶MEMS-PZT薄膜を用いた圧電センサの温度と出力電圧の関係

カテゴリ: 部門大会

論文No: 15-P-D-4

グループ名: 【A】令和4年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2022/08/30

著者名: 小林 美穂(東京都市大学), 佐藤 孔亮(東京都市大学), 三宅 弘晃(東京都市大学), 田中 康寛(東京都市大学), 神田 健介(兵庫県立大学)

キーワード: PZT|PEA高温

要約(日本語): 現在、先行研究において開発した150 ℃空間電荷分布測定装置では100 ℃の耐熱性を有するP(VDF-trfe)を用いてきたが、センサ周囲の冷却システムが必要であった。そこで、耐熱温度が600 ℃である単結晶PZTに着目し、空間電荷測定装置の圧力波検出センサとして最適な条件の検討を行った。従来使用されている P(VDF-TrFE)と単結晶 PZT の室温から150 ℃環境下での出力電圧値の比較から、センサとしての使用に向けは評価を行った。その結果,単結晶PZT で 150 ℃下で安定した出力電圧を確認できたので報告する。

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