PLD法で作製した異方性Nd-Fe-B系磁石膜の磁気特性と結晶構造に与える加熱時間の影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7-A-p1-1

グループ名: 【A】令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2023/08/24

著者名: 山本 将輝(長崎大学)，山下 昂洋(長崎大学)，柳井 武志(長崎大学)，中野 正基(長崎大学)，福永 博俊(長崎大学)

キーワード: Nd-Fe-B|PLD(Pulsed Laser Deposition)法|レーザアブレーション|異方性磁石

要約(日本語): 電子機器の小型化に伴い,内部に使用される永久磁石の小型・高性能化が求められている。我々は高い成膜速度(数十μm/h)を有するPLD(Pulsed Laser Deposition)法に着目し,磁石膜厚100 μmを超える等方性Nd-Fe-B系厚膜の作製を報告しており,近年,異方性Nd-Fe-B系厚膜磁石の作製を試みている。異方性磁石膜の作製手法として,成膜時に基板加熱を施すことが一般的であり,本研究は基板加熱を施す時間がNd-Fe-B系磁石膜の磁気特性や結晶構造に与える影響を検討したので報告する。

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