対向発散磁界下共鳴磁界域付近の電子軌跡の捩率と電子加熱の関係性の検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7-C-a1-1

グループ名: 【A】令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2023/08/24

著者名: 村中 伶羽(北海道大学)，林 秀虎(北海道大学)，菅原 広剛(北海道大学)

キーワード: 誘導結合プラズマ|対向発散磁界|電子エネルギー|部分共鳴|粒子モデルシュミレーション|捩率

要約(日本語): 材料処理用低気圧誘導結合プラズマの密度維持と材料損傷低減等のため磁界による閉じ込めと電子加熱機構と見られる部分共鳴(一時的電子サイクロトロン共鳴)の両立を目指し、磁界下の部分共鳴発現に適した条件を探索している。電子輸送の観察から磁界下の電子旋回中に磁力線方向に進む度合いを表す捩率が低いほど電子加熱が大きいとの知見を得たため、プラズマ容器側壁から共鳴域に向け電子を放ち電子軌跡とその捩率を観察することで電子加熱との関係を議論する。電子を導く磁力線が弱磁界域に至り曲がるにつれ旋回径は大きく、捩率は小さくなった。これは磁力線が曲がる領域では磁力線方向の電子速度成分が抑制されるためと考えられる。

PDFファイルサイズ: 491 Kバイト