対向発散磁界下誘導結合プラズマの電子エネルギー利得分布の正負別位相分解観察

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7-C-a1-2

グループ名: 【A】令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2023/08/24

著者名: 岡崎 凌大(北海道大学)，菅原 広剛(北海道大学)

キーワード: 誘導結合磁化プラズマ|共鳴磁界域|電子エネルギー利得|部分共鳴|モンテカルロシミュレーション|磁界設計

要約(日本語): 閉込機能をもつ対向発散磁界下誘導結合磁化プラズマ中の部分共鳴現象は共鳴磁界域(共鳴磁界強度の0.5～1.5倍の領域と定義)で電子エネルギー利得(EEG)が高く,プラズマへの効率的電力投入に利用可能と思われる。本研究はEEGが生じる領域と電界位相を調べ,部分共鳴による電子加熱機構の解明を目指す。今回既報同様の系でEEG分布の正負別位相分解をモンテカルロ法で算出した。正負EEGとも交流電界に対し僅かな遅れを伴い同期し正負の差は僅かだった。正負差し引いた正味EEGの共鳴磁界域付近での値は前半周期の方が後半周期より大きく,その分布は容器外側/強磁界側から内側/弱磁界側へ向かい移ろう様子が観察された。

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