単電子運動追跡による交流電界直流対向発散磁界下共鳴磁界域における電子エネルギー増減の調査

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7-C-a1-3

グループ名: 【A】令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2023/08/24

著者名: 林 秀虎(北海道大学)，村中 伶羽(北海道大学)，菅原 広剛(北海道大学)

キーワード: 誘導結合プラズマ|対向発散磁界|電子エネルギー|部分共鳴|粒子モデルシミュレーション|単電子運動

要約(日本語): 本研究の目的は、材料プロセスへの応用が期待される誘導結合磁化プラズマの一種X点プラズマ中の共鳴磁界域における電子エネルギー獲得機構の解明である。従来の解析では粒子モデルを用いて共鳴磁界域中の一点から電子を全方位に放出し追跡することで、電子エネルギーの獲得傾向を重み付き期待値を基に観察してきた。本解析では新たに、共鳴磁界域外の一点から共鳴磁界域方向に電子を放出し、単電子運動の軌跡とエネルギー増減を調査する。放出地点や放出方向を変化させ、共鳴磁界域中での電子エネルギー獲得傾向を条件毎に個別に観察した。適当な条件下では、電子が共鳴磁界域内に長く滞在し、エネルギーが増加し続ける顕著な例が観察された。

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