高繰り返しナノ秒パルスAr/CH4グロー放電プラズマを用いたDLC成膜の高硬度化および高速成膜化に関する研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7-C-a1-4

グループ名: 【A】令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2023/08/24

著者名: 川口 瑞稀(兵庫県立大学)，玉越 順也(兵庫県立大学)，菊池 祐介(兵庫県立大学)

キーワード: ダイヤモンドライクカーボン成膜|高繰り返しナノ秒パルス放電|準大気圧プラズマ|グロー放電

要約(日本語): ダイヤモンドライクカーボン(DLC)の低コスト成膜を目指して、高繰り返しナノ秒パルス電源によるAr/CH4グロー放電プラズマのDLC成膜を行った。これまでに、電源周波数150kHzでは成膜レート0.045μm/minが得られた。さらに成膜レートを高くするために、ガス圧力0.36kPa、周波数300kHzにおいて、流量比CH4/(Ar+CH4)を16.7～50%、ガス総流量を1.6～6L/minで変化させると水素含有量30%付近の膜が得られ、温度、流量比、総流量に対して膜質が変化していることが分かった。講演ではナノインデンターを用いた硬度計測結果についても報告する。

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