触覚センサ用カンチレバー型検知素子のCr-N薄膜横感度を利用した小型化

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7-C-p1-3

グループ名: 【A】令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2023/08/24

著者名: 木下 萌香(新潟大学)，水戸部 龍介(新潟大学)，長谷川 拓海(新潟大学)，安部 隆(新潟大学)，丹羽 英二(電磁材料研究所)，寒川 雅之(新潟大学)

キーワード: 触覚センサ|カンチレバー構造|Cr-N薄膜|ひずみゲージ

要約(日本語): 近年、人間の触覚を再現するために触覚センサに注目が集まっている。我々はこれまでひずみゲージ式マイクロカンチレバー型触覚センサの研究を行ってきており、その感度はカンチレバーのサイズに依存することを明らかにしている。しかし、人間の触覚受容器は最大で140個/cm²程とされ、人間の触覚を再現するための検知素子高密度化や、低侵襲手術などに使用する小型ロボットアームへの応用を考慮すると、さらなるカンチレバーの小型化が必要不可欠であり、感度の低下が懸念される。そのため、縦横共に高ゲージ率を示す材料であるCr-N薄膜の横感度を利用することで、触覚センサの感度を維持、あるいはさらに向上したうえでカンチレバーの小型化を図った。

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